Nitrogen Trifluoride (NF3) Gas ti o ga julọ
Alaye ipilẹ
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Kini ohun elo yii?
Nitrogen trifluoride (NF3) jẹ gaasi ti ko ni awọ ati õrùn ni iwọn otutu yara ati titẹ oju aye. O le jẹ liquefied labẹ titẹ iwọntunwọnsi. NF3 jẹ iduroṣinṣin labẹ awọn ipo deede ati pe ko decompose ni imurasilẹ. Sibẹsibẹ, o le decompose nigbati o ba farahan si awọn iwọn otutu ti o ga tabi ni iwaju awọn ayase kan. NF3 ni agbara imorusi agbaye ti o ga (GWP) nigbati o ba tu silẹ sinu afefe.
Nibo ni lati lo ohun elo yii?
Aṣoju fifọ ni ile-iṣẹ itanna: NF3 jẹ lilo pupọ bi oluranlowo mimọ fun yiyọ awọn contaminants ti o ku, gẹgẹbi awọn oxides, lati awọn aaye ti semikondokito, awọn panẹli ifihan pilasima (PDPs), ati awọn paati itanna miiran. O le ṣe imunadoko nu awọn aaye wọnyi laisi ibajẹ wọn.
Gaasi Etching ni iṣelọpọ semikondokito: NF3 ni a lo bi gaasi etching ninu ilana iṣelọpọ ti semikondokito. O munadoko paapaa ni etching silikoni oloro (SiO2) ati silikoni nitride (Si3N4), eyiti o jẹ awọn ohun elo ti o wọpọ ti a lo ninu iṣelọpọ awọn iyika iṣọpọ.
Ṣiṣejade awọn agbo ogun fluorine ti o ga-giga: NF3 jẹ orisun ti o niyelori ti fluorine fun iṣelọpọ ti awọn orisirisi agbo ogun ti o ni fluorine. O ti wa ni lo bi awọn kan ṣaaju ni isejade ti fluoropolymers, fluorocarbons, ati nigboro kemikali.
Iran Plasma ni iṣelọpọ ifihan nronu alapin: A lo NF3 pẹlu awọn gaasi miiran lati ṣẹda pilasima ni iṣelọpọ ti awọn ifihan nronu alapin, gẹgẹbi awọn ifihan gara omi (LCDs) ati awọn PDP. Pilasima jẹ pataki ni awọn ilana ifisilẹ ati etching lakoko iṣelọpọ nronu.
Ṣe akiyesi pe awọn ohun elo kan pato ati awọn ilana fun lilo ohun elo/ọja le yatọ nipasẹ orilẹ-ede, ile-iṣẹ ati idi. Tẹle awọn itọnisọna ailewu nigbagbogbo ki o kan si alamọja ṣaaju lilo ohun elo/ọja ni eyikeyi ohun elo.
